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Physik Instrumente (PI) 公司35年来一直引领微纳米定位技术的发展，是全球最知名的微纳米定位高科技企业。PI的产品一直以高品质和创新技术而著称，我们面向用户提供全面的纳米定位和微米定位解决方案，产品应用领域包括半导体、微系统工艺、数据存储、光电子及通讯、生物医疗、光学技术、显微、航空航天、精密加工、天文观测、物理科学等等。
M-840,M-824,M-850及F206 Hexapod (6脚机器人)六轴并联定位系统是PI数十年高分辨并联运动学的经验结晶，非常适用于在有限的空间内提供大负载高精度的多自由度定位。Hexapod作为并联系统，具有刚性好，运动轴相互之间无机械串扰等优点。结合PI的高精度定位技术，使该类产品能达到亚微米/微弧度分辨率和微米级精度，并可围绕空间任意点做三个角度方向的旋转。同时最大负载可达到1吨，标准型号达到200kg。
该系统的典型应用包括：光学与电子学系统的姿态调整、外科手术机器人、精密加工、微装配、半导体处理、波导封装、天文望远镜二次镜主动控制等。

产品服务

压电纳米定位系统

压电促动器/压电微位移器

电容微定位传感器

压电陶瓷元件

六自由度并联微定位系统

直线及旋转微米定位系统

微米定位控制解决方案

纳米定位控制解决方案(驱动/控制)

主动光学产品/超快压电偏转镜

压电陶瓷电机/超声电机及平台

MEMS/光电子对准及封装

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